标准查询 标准查询表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定
Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry－Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准号：KS D ISO 14237-2003
标准名称： 表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定
英文名称：Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry－Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准类型：国外标准
标准状态：现行
发布日期：2003-10-06
实施日期：2003-10-06
中国标准分类号（CCS）：G04
国际标准分类号（ICS）：71.040.40
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