表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

国外标准现行

标准号：ISO 14237-2000

标准名称：表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：G04

国际标准分类号（ICS）：71.040.40

替代以下标准：ISO 14237-2010

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