标准查询 标准查询表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准号：BS ISO 14237-2010
标准名称： 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准类型：国外标准
标准状态：现行
发布日期：2010-08-31
实施日期：2010-08-31
中国标准分类号（CCS）：G04
国际标准分类号（ICS）：71.040.50
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