二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据

Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

国外标准现行

标准号：ASTM E1162-1987(2001)

标准名称：二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据

英文名称：Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：N34

国际标准分类号（ICS）：71.040.50

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