报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程

Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

国外标准现行

标准号：ASTM E1162-2011

标准名称：报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程

英文名称：Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：A43

国际标准分类号（ICS）：71.040.50

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