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半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method

国外标准 现行

标准号：DIN 50453-1-1990

标准名称： 半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法

英文名称：Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：H82

国际标准分类号（ICS）：29.040.30

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