用带汞探针的铣床回授靠模工具机测量器测定硅中净载流子密度的测试方法

标准号：ASTM F1393-1992(1997)

标准名称： 用带汞探针的铣床回授靠模工具机测量器测定硅中净载流子密度的测试方法

英文名称：Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements With a Mercury Probe

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：H82

国际标准分类号（ICS）：29.045