Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional)
标准简介:本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度,通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线,可求得电阻率。
标准号:SJ 1551-1979
标准名称:硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行)
英文名称:Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional)
标准类型:行业标准
标准状态:现行
发布日期:1980-03-01
实施日期:1980-06-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
发布单位:第四机械工业部