真空技术 溅射离子泵

标准简介：本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。 本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

标准号：JB/T 4081-2011

标准名称：真空技术 溅射离子泵

英文名称：Vacuum technology － Sputter-ion pumps

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-04-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23.160真空技术

替代以下标准：替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991

起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布单位：工业和信息化部