溅射离子泵 型式与基本参数

标准简介：本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。

标准号：JB/T 4081-1991

标准名称：溅射离子泵 型式与基本参数

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1991-07-22

实施日期：1992-07-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

替代以下标准：JB 4081-85;被JB/T 4081-2011代替

起草单位：机械电子工业部沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布单位：国家机械工业局