标准查询 标准查询超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求的测试和监测规范
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2 : specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1.
标准号：NFX 44-102-2000
标准名称： 超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求的测试和监测规范
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2 : specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1.
标准类型：国外标准
标准状态：现行
发布日期：2000-11-20
实施日期：2000-11-20
中国标准分类号（CCS）：Z15
国际标准分类号（ICS）：13.040.35
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