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用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法

Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

国外标准 现行

标准号：ASTM E2245-2005

标准名称： 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法

英文名称：Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：N50

国际标准分类号（ICS）：37.040.20

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