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用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的试验方法

Standard Test Method for Calibration Verification of Laser Diffraction Particle Sizing Instruments Using Photomask Reticles

国外标准 作废

标准号：ASTM E1458-1992(2001)

标准名称： 用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的试验方法

英文名称：Standard Test Method for Calibration Verification of Laser Diffraction Particle Sizing Instruments Using Photomask Reticles

标准类型：国外标准

标准状态：作废

中国标准分类号（CCS）：N30

国际标准分类号（ICS）：19.120

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