电子薄膜用高纯度钛溅射靶机的标准规范

Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

国外标准现行

标准号：ASTM F1709-1997(2008)

标准名称：电子薄膜用高纯度钛溅射靶机的标准规范

英文名称：Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：L90

国际标准分类号（ICS）：31.120

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