使用四点探测法测定专业平板显示器用薄膜导线的薄膜电阻的标准实施规程

标准号：ASTM F1711-1996(2008)

标准名称： 使用四点探测法测定专业平板显示器用薄膜导线的薄膜电阻的标准实施规程

英文名称：Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors for Flat Panel Display Manufacturing Using a Four-Point Probe Method

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：L90

国际标准分类号（ICS）：31.120