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几何产品技术规范 (GPS) - 表面结构: 平面式 - 第603部分: 非接触 (相移干涉计的显微检查) 仪器的标称特征

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture : areal - Part 603: nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments

国外标准 现行

标准号：NFE 05-031-603-2013

标准名称： 几何产品技术规范 (GPS) - 表面结构: 平面式 - 第603部分: 非接触 (相移干涉计的显微检查) 仪器的标称特征

英文名称：Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture : areal - Part 603: nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments

标准类型：国外标准

标准状态：现行

发布日期：2013-12-06

实施日期：2013-12-06

中国标准分类号（CCS）：J04

国际标准分类号（ICS）：17.040.30

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