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用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法

Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry

国外标准 现行

标准号:ASTM F576-2000

标准名称: 用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法

英文名称:Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry

标准类型:国外标准

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):H80

国际标准分类号(ICS):29.045

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