Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
标准号：ASTM E1438-1991(1996)
标准名称： 用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度
英文名称：Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
标准类型：国外标准
标准状态：现行
中国标准分类号（CCS）：H80
ASTM E1438-1991(2001) 现行
用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度
ASTM E1438-2011 现行
使用SIMS测量溅镀深度剖面接口宽度的标准指南
ASTM C1438-1999e1 现行
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