半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正

Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters

国外标准现行

标准号：DIN 50452-3-1995

标准名称：半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正

英文名称：Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：H82

国际标准分类号（ICS）：29.040.30

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