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用角抛光和疵点侵蚀加工法测量机械加工硅片表面晶体损坏深度的试验方法

Standard Test Method for Measuring the Depth of Crystal Damage of a Mechanically Worked Silicon Slice Surface by Angle Polishing and Defect Etching

国外标准 现行

标准号:ASTM F950-1998

标准名称: 用角抛光和疵点侵蚀加工法测量机械加工硅片表面晶体损坏深度的试验方法

英文名称:Standard Test Method for Measuring the Depth of Crystal Damage of a Mechanically Worked Silicon Slice Surface by Angle Polishing and Defect Etching

标准类型:国外标准

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):H82

国际标准分类号(ICS):29.045

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