标准查询 标准查询半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 2: Indium phosphide
标准号：DIN 50454-2-1994
标准名称： 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物
英文名称：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 2: Indium phosphide
标准类型：国外标准
标准状态：现行
中国标准分类号（CCS）：H83
国际标准分类号（ICS）：29.045
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