同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法

Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference

行业标准作废

标准号：SJ 3247-1989

标准名称：同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法

英文名称：Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference

标准类型：行业标准

标准状态：作废

发布日期：1989-03-25

实施日期：1989-03-25

中国标准分类号（CCS）：H83

国际标准分类号（ICS）：29.045

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