溅射目标垫板部件的超声波C扫描粘结评估的标准操作规程

Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies

国外标准现行

标准号：ASTM F1512-1994(2011)

标准名称：溅射目标垫板部件的超声波C扫描粘结评估的标准操作规程

英文名称：Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：H26

国际标准分类号（ICS）：19.100

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