检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序

Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry

国外标准现行

标准号：PAS 1022-2004

标准名称：检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序

英文名称：Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：H26

国际标准分类号（ICS）：19.100

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