标准号:ISO 14606-2000
标准名称: 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称:Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials
标准类型:国外标准
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):G04
国际标准分类号(ICS):71.040.40
替代以下标准:ISO 14606-2015