标准号:BS ISO 17560-2002
标准名称: 表面化学分析.再生离子质量光谱测定.硅中硼的深仿形分析法
英文名称:Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon
标准类型:国外标准
标准状态:作废
发布日期:2002-08-28
实施日期:2002-08-28
中国标准分类号(CCS):G04
国际标准分类号(ICS):71.040.40
替代以下标准:BS ISO 17560-2014