标准号:NFX 21-051-2006
标准名称: 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
英文名称:Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon.
标准类型:国外标准
标准状态:现行
发布日期:2006-04-20
实施日期:2006-04-20
中国标准分类号(CCS):G04
国际标准分类号(ICS):71.040.40