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表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon.

国外标准 现行

标准号:NFX 21-051-2006

标准名称: 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法

英文名称:Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon.

标准类型:国外标准

标准状态:现行

发布日期:2006-04-20

实施日期:2006-04-20

中国标准分类号(CCS):G04

国际标准分类号(ICS):71.040.40

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