Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
标准号:KS D ISO 18114-2005
标准名称: 表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
英文名称:Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
标准类型:国外标准
标准状态:现行
发布日期:2005-12-28
实施日期:2005-12-28
中国标准分类号(CCS):G04
国际标准分类号(ICS):71.040.40