表面化学分析.基于光束方法中横向分辨率和清晰度的测定基础方法

Surface chemical analysis - Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

国外标准现行

标准号：ISO/TR 19319-2013

标准名称：表面化学分析.基于光束方法中横向分辨率和清晰度的测定基础方法

英文名称：Surface chemical analysis - Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：G04

国际标准分类号（ICS）：71.040.50

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