表面化学分析.二次离子质谱(SIMS).带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

国外标准现行

标准号：JISK 0169-2012

标准名称：表面化学分析.二次离子质谱(SIMS).带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法

英文名称：Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：G04

国际标准分类号（ICS）：71.040.40

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