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无尘室和有关受控环境．第2部分：确保持续符合ISO 14644－1的测试和监控规范

Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

国外标准 现行

标准号：SANS 14644-2-2003

标准名称： 无尘室和有关受控环境．第2部分：确保持续符合ISO 14644－1的测试和监控规范

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：C47

国际标准分类号（ICS）：13.040.35

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