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表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定

Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution.

国外标准 现行

标准号：NFX 21-061-2008

标准名称： 表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定

英文名称：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution.

标准类型：国外标准

标准状态：现行

发布日期：2008-04-05

实施日期：2008-04-05

中国标准分类号（CCS）：A43

国际标准分类号（ICS）：71.040.50

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