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表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深压型用方法

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon

国外标准 现行

标准号：JISK 0164-2010

标准名称： 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深压型用方法

英文名称：Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：A43

国际标准分类号（ICS）：71.040.40

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