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半导体用透明石英玻璃器件

Transparent quartz glass devices for semiconductor

行业标准 推荐性 现行

标准简介:本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。

标准号:JC/T 181-2011

标准名称:半导体用透明石英玻璃器件

英文名称:Transparent quartz glass devices for semiconductor

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2011-12-20

实施日期:2012-07-01

中国标准分类号(CCS):建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃

国际标准分类号(ICS):玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品

替代以下标准:替代JC/T 181-1981 (1996);公告:中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)

起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院

归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

发布单位:工业和信息化部

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