半导体工艺用安时计现场校准规范

标准简介：本规范适用于半导体电镀工艺线用直流电流≤300A、直流电压≤1000V、安时≤2000Ah 的安时计的现场校准。安时计主要应用于电镀电源、整流机等与电化学产品有关的安时的测量，多数具有掉电数据保持能力，可连续测量安时参数，实时显示并报警，并根据安时统计数据实现自动控制加料.安时计的主要工作原理就是接受直流稳定电源信号输入，测量端口电压、回路电流、累计时间，计算得到安时参数并显示出来，与预先设定的安时量比较，一旦达到上限值立即报警并控制继电器开关工作，从而开启电镀液泵开关，达到自动加液的目的。

标准号：JJF(电子)0060-2021

标准名称：半导体工艺用安时计现场校准规范

标准类型：国家标准

标准状态：现行

发布日期：2021-12-02

实施日期：2022-04-01

发布单位：工业和信息化部