标准查询 标准查询掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
标准简介：本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。
标准号：JJF 1613-2017
标准名称：掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
英文名称：Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
标准类型：国家标准
标准状态：现行
发布日期：2017-02-28
实施日期：2017-05-28
起草单位：中国计量科学研究院
归口单位：全国新材料与纳米计量技术委员会
发布单位：国家质量监督检验检疫.
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