Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
标准简介:本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
标准号:YS/T 1124-2016
标准名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法
英文名称:Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
国际标准分类号(ICS):冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布单位:工业和信息化部