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晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法

行业标准 推荐性 现行

标准号:YS/T 27-1992

标准名称:晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:1992-03-09

实施日期:1993-01-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

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