Flat magneting sputtering target—Niobium target for optical coating
标准简介:本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。
标准号:YS/T 718-2009
标准名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
英文名称:Flat magneting sputtering target—Niobium target for optical coating
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010-06-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>有色金属及其合金产品>>H63稀有高熔点金属及其化合物
国际标准分类号(ICS):冶金>>有色金属产品>>77.150.99其他有色金属产品
起草单位:金川集团有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
发布单位:工业和信息化部