电子薄膜用高纯钛溅射靶材

标准简介：本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。

标准号：YS/T 893-2013

标准名称：电子薄膜用高纯钛溅射靶材

英文名称：High-purity sputtering titanium target used in electronic film

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>77.150.50钛产品

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部