Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
标准简介:本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%~100%。
标准号:YS/T 983-2014
标准名称:多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称:Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
中国标准分类号(CCS):>>>> >>>>17
国际标准分类号(ICS):冶金>>77.040金属材料试验
起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司等
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布单位:工业和信息化部