硅抛光回收片

标准简介：本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。

标准号：YS/T 985-2014

标准名称：硅抛光回收片

英文名称：Polished reclaimed silicon wafers

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29.045半导体材料

起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司等

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部