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单晶硅厂工艺设计规范

行业标准 现行

标准号:YSJ 004-1988

标准名称:单晶硅厂工艺设计规范

标准类型:行业标准

标准状态:现行

实施日期:1997-05-01

中国标准分类号(CCS):工程建设>>原材料工业及通信、广播工程>>P73冶金工业工程

国际标准分类号(ICS):77.010

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