溅射离子泵 性能测试方法

标准简介：本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

标准号：JB/T 2965-1992

标准名称：溅射离子泵 性能测试方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1992-01-01

实施日期：1992-01-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

替代以下标准：JB 2965-81;公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)

归口单位：沈阳真空技术研究所

发布单位：沈阳真空技术研究所